0% Complete
صفحه اصلی
/
ششمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران
Study of Nanoscale Material NEMS Resonant Pressure Sensors: Simulation and Comparison
نویسندگان :
Amir Noroolahi
1
Abolfazl Hosseini
2
1- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی(ره) شهرری
2- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی(ره) شهرری
کلمات کلیدی :
nanoscale Material،Resonant Frequency،Pressure Sensor،Nanoelectromechanical Systems (NEMS
چکیده :
In this manuscript, we offer a comprehensive investigation of the operational principle, performance assessment, and prospects of resonant pressure sensors that rely on nanoscale material membranes. The membrane possesses a radius of 2500 nm and a thickness of 25 nm. Our simulation setup consists of a multi-layer 2D-dimensional materials membrane suspended on a Si substrate and stimulated by an electrostatic excitation. When acting as a resonator, the membrane displays a frequency shift in different materials of roughly 56~82 MHz in response to pressures ranging from zero to 100 kPa applied pressure. Our sensor exhibits a sensitivity of 556 Hz/Pa (WS2) ~763 Hz/Pa (h-BN). The results demonstrate that the maximum sensitivity belongs to h-BN which is 300 times higher than that of a silicon-based resonant pressure sensor, despite employing a membrane area that is 1200 times smaller. Our proposed pressure sensor exploits the mechanical and electrical properties of 2D materials to enable exceptionally accurate pressure measurements.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Ultra Low Power SRAM-PUF for IoT Devices Based on CNTFETs
Alireza Shafiei - Mehrnaz Monajati
A Linear Wideband CMOS Balun-LNA With Complementary Predistortion Technique
Mohammad Mohammadi - Mohammad Yavari
ساخت حسگر پیزومقاومتی مبتنی بر گرافن ناشی از لیزر بر روی فیلم پلی ایمیدی
علیرضا اکبرزاده - کریم شلش نژاد - هادی ولادی - ابراهیم صفری
Using GDI Structure in Hardware Implementation of Convolution Operation in Deep Neural Networks
Maedeh Kadkhodaie - Sayed Masoud Sayedi
طراحی و تحلیل یک انتگرالگیر زمانی مرتبه کسری در فناوری هایبرید پلاسمونی گرافنی
افشین احمدپور - امیر حبیب زاده شریف - فائزه بهرامی چناقلو
تشخیص خرابی یاتاقان موتور خودرو با استفاده از حسگرهای میکروالکترونیکی و سیگنالپردازی شتابسنجی
امین آقائی بدلبو - ارمین نصرالله زاده - امیرحسین محمودی
هوشمندسازی خودرو با استفاده از بینایی ماشین و رایانش لبه: پیادهسازی سیستم تشخیص چراغهای راهنمایی و مسیر حرکت در سامانه های نهفته
بلال سپاهی - وحید جمشیدی
ارائه یک منطق سه سطحی ترکیبی CMOS-FINFET برای مدارهای محاسباتی کم مصرف
محبوبه طالبی - وحید جمشیدی
تلفیق اینترنت اشیا و داده کاوی برای تشخیص بیماری دیابت: رویکردی هوشمند در پایش سلامت دیجیتال
سیده عارفه رضوی - وحید جمشیدی - محبوبه طالبی - ملیکا ناصری
Design and Simulation of a 2.4 GHz Class E Power Amplifier With High PAE and Linearity Improvement in 0.13μm CMOS Technology
Hamidreza Taghavi gharaghaji - Morteza Mojarad
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.6.0