کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

صفحه اصلی / ششمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

Study of Nanoscale Material NEMS Resonant Pressure Sensors: Simulation and Comparison

نویسندگان :

Amir Noroolahi¹ Abolfazl Hosseini²

1- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی(ره) شهرری 2- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی(ره) شهرری

کلمات کلیدی :

nanoscale Material،Resonant Frequency،Pressure Sensor،Nanoelectromechanical Systems (NEMS

چکیده :

In this manuscript, we offer a comprehensive investigation of the operational principle, performance assessment, and prospects of resonant pressure sensors that rely on nanoscale material membranes. The membrane possesses a radius of 2500 nm and a thickness of 25 nm. Our simulation setup consists of a multi-layer 2D-dimensional materials membrane suspended on a Si substrate and stimulated by an electrostatic excitation. When acting as a resonator, the membrane displays a frequency shift in different materials of roughly 56~82 MHz in response to pressures ranging from zero to 100 kPa applied pressure. Our sensor exhibits a sensitivity of 556 Hz/Pa (WS2) ~763 Hz/Pa (h-BN). The results demonstrate that the maximum sensitivity belongs to h-BN which is 300 times higher than that of a silicon-based resonant pressure sensor, despite employing a membrane area that is 1200 times smaller. Our proposed pressure sensor exploits the mechanical and electrical properties of 2D materials to enable exceptionally accurate pressure measurements.

لیست مقالات

لیست مقالات بایگانی شده

Ultra Low Power SRAM-PUF for IoT Devices Based on CNTFETs

Alireza Shafiei - Mehrnaz Monajati

A Linear Wideband CMOS Balun-LNA With Complementary Predistortion Technique

Mohammad Mohammadi - Mohammad Yavari

ساخت حسگر پیزومقاومتی مبتنی بر گرافن ناشی از لیزر بر روی فیلم پلی ایمیدی

علیرضا اکبرزاده - کریم شلش نژاد - هادی ولادی - ابراهیم صفری

Using GDI Structure in Hardware Implementation of Convolution Operation in Deep Neural Networks

Maedeh Kadkhodaie - Sayed Masoud Sayedi

طراحی و تحلیل یک انتگرال‏گیر زمانی مرتبه کسری در فناوری هایبرید پلاسمونی گرافنی

افشین احمدپور - امیر حبیب زاده شریف - فائزه بهرامی چناقلو

تشخیص خرابی یاتاقان موتور خودرو با استفاده از حسگرهای میکروالکترونیکی و سیگنال‌پردازی شتاب‌سنجی

امین آقائی بدلبو - ارمین نصرالله زاده - امیرحسین محمودی

هوشمندسازی خودرو با استفاده از بینایی ماشین و رایانش لبه‌: پیاده‌سازی سیستم تشخیص چراغ‌های راهنمایی و مسیر حرکت در سامانه های نهفته

بلال سپاهی - وحید جمشیدی

ارائه یک منطق سه سطحی ترکیبی CMOS-FINFET برای مدارهای محاسباتی کم مصرف

محبوبه طالبی - وحید جمشیدی

تلفیق اینترنت اشیا و داده کاوی برای تشخیص بیماری دیابت: رویکردی هوشمند در پایش سلامت دیجیتال

سیده عارفه رضوی - وحید جمشیدی - محبوبه طالبی - ملیکا ناصری

Design and Simulation of a 2.4 GHz Class E Power Amplifier With High PAE and Linearity Improvement in 0.13μm CMOS Technology

Hamidreza Taghavi gharaghaji - Morteza Mojarad

بیشتر

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 42.6.0