کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

صفحه اصلی / ششمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

ساخت حسگر پیزومقاومتی مبتنی بر گرافن ناشی از لیزر بر روی فیلم پلی ایمیدی

نویسندگان :

علیرضا اکبرزاده¹ کریم شلش نژاد² هادی ولادی³ ابراهیم صفری⁴

1- دانشگاه تبریز 2- دانشگاه تبریز 3- دانشگاه تبریز 4- دانشگاه تبریز

کلمات کلیدی :

اثر پیزومقاومتی،تئوری نفوذ،حسگر،گرافن سه بعدی متخلخل،لیزر کربن دی اکسید

چکیده :

گرافن به‌عنوان یک ماده دوبعدی از اتم‌های کربن، به دلیل ویژگی‌های برجسته الکتریکی، حرارتی و مکانیکی، کاربردهای گسترده‌ای در الکترونیک انعطاف‌پذیر و حسگرهای پوشیدنی دارد. یکی از روش‌های نوین تولید گرافن، گرافن ناشی از لیزر است که در آن با استفاده از لیزر می توان مواد غنی از کربن را بر روی بستر فیلم پلیمری به صورت گرافن متخلخل به وجود آورد. این فرآیند ساده و قابل تنظیم بوده و امکان تولید گرافن با ویژگی‌های منحصربه‌فرد را فراهم می‌کند. در این پژوهش، با استفاده از لیزر کربن دی اکسید، یک ساختار گرافنی بر روی فیلم پلی ایمیدی ایجاد شد و اثر پیزومقاومتی نمونه ها مورد آزمایش قرار گرفت. آزمایش‌های پیزومقاومتی نشان داد که تحت پارامترهای بهینه لیزرکاری می توان مقاومت الکتریکی و حساسیت حسگرهای پیزومقاومتی را بهبود بخشید. فرآیند گرافن ناشی از لیزر به‌دلیل سادگی و کارایی بالا، پتانسیل زیادی در سنتز گرافن برای حسگرهای پوشیدنی و سایر کاربردهای پیشرفته دارد.