0% Complete
صفحه اصلی
/
پنجمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران
حسگر فشار پیزومقاومتی مبتنی بر صفحه رزین حساس به نور
نویسندگان :
Ferdos Akrami
1
1- دانشگاه صنعتی شیراز
کلمات کلیدی :
pressure sensor،lithography،piezoresistive
چکیده :
In this paper, we propose and fabricate a new piezoresistive pressure sensor by combining micro-structured flexo photosensitive Resin Plate/Ag and Ag interdigital electrodes through a low-cost process. These plates are made from light-sensitive polymers that are hardened by UV light. The proposed material as a flexible substrate has advantages like Excellent rebound resilience enables high-quality printing with sharp images, high resolution, Cost-effective, etc. our proposed sensor shows sensitivity (18.14 kPa-1 and 458.2 kPa-1 in the pressure range of 0 Pa to 1.2 kPa and 1.2-11 kPa), low detection limit (40 Pa), signal response (3.51 s) and recovery response (0.81 s). these characteristics allow the device to work in applications in intelligent robots, human-machine interfaces, and so forth.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Unified Modeling Framework for Dynamic Analysis of a MEMS Resonant Biosensor
Ali Selk Ghafari
Design of Electrical Stimulation Circuit in 180 nm/1.8 V Standard CMOS Process
Askandar Nikzad - Mohammad Yavari - Amir Kashi
A Nonlinear, Low-Power, VCO-Based ADC for Neural Recording Applications
Reza Shokri - Yarallah Koolivand - Omid Shoaei - Orazio Aiello - Daniele Caviglia
Numerical analysis of studying the importance of choosing the right image reconstruction algorithms in tomography’s accuracy and processing time
Maryam Ahangar Darband - Esmaeil Najafiaghdam
طراحی و شبیهسازی شمارنده بالا و پایین شمار چهارسطحی با استفاده از تکنولوژی 32nm-CNTFET
جواد جاویدان
Optimization of 6.5 GHz CMOS Low Noise Amplifier Applying Multi-objective Firefly Algorithm
Maryam Babasafari - Mostafa Yargholi - Mohammad Mostafavi
طراحی آنتن تشدیدکننده دی الکتریک با استفاده از فرامواد برای سنجش و تشخیص مایعات
مریم بازگیر - اکرم شیخی
High Figure of Merit Metasurface Biosensor at Optical Telecommunication Band
Hemin Ebrahimi - Keyhan Hosseini - Mohammad Razaghi
Study of Nanoscale Material NEMS Resonant Pressure Sensors: Simulation and Comparison
Amir Noroolahi - Abolfazl Hosseini
یک مبدل آنالوگ به دیجیتال مبتنی بر مدولاتور سیگما دلتا برای کاربردهای مهندسی - پزشکی با ENOB = 13. 2 bits ، پهنای باند 10 kHz و توان مصرفی 16.9 µ W
علی صداقت - حسین پاک نیت - نوید یثربی
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 41.5.5