0% Complete
صفحه اصلی
/
هفتمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران
A Verilog-A Based Dynamic Model for MEMS Accelerometer Sensors
نویسندگان :
Kamyab Karimi Sarableh
1
Farshad Gozalpour
2
Sepehr Zare Teimoori
3
Rasoul Fathipour
4
1- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
3- دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
4- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
کلمات کلیدی :
Accelerometer،Verilog-A model،COMSOL،electrostatic force،rest-state capacitance،scale factor
چکیده :
In this paper, a Verilog-A model is proposed for simulation and investigation of the accelerometer sensors. This model is capable of simulating and monitoring most of the sensor key-parameters such as gain, noise, electrostatic force, displacement, time and frequency response. The main goal of this model is to examine and simulate the sensor, along with the readout chip. Given that many sensor characteristics, such as scale factor and rest-state capacitance, affect the performance of readout chip, it would be very useful to use a sensor model that dynamically represents these characteristics. Also, simulations are very time-consuming in COMSOL, but would be done quickly using the proposed model. Using the proposed Verilog-A model, the rest-state capacitance, mechanical scale factor, and sensor resonance frequency have been investigated, which in comparison with COMSOL results, have -2.15 %, 1.3 % and 7.9 % of errors, respectively, Therefore, this model is suitable for dynamic simulations, as well as self-testing and system-level design.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
High-Speed Approximate Addition with Half Adder-Based Multi-Stage Architecture
Haniyeh Bazleh - Hadiseh Babazadeh
طراحی و شبیهسازی یک فیلتر میان گذر باریک باند قابل تنظیم با استفاده از سلف فعال برای کاربرد در شبکههای بیسیم
محمد امین ملاکی - مهناز افضلی - ابوالفضل بیجاری
بررسی تأثیر اصلاحات ساختاری، بر روی عملکرد ترانزیستورهای مبتنی بر نانو نوارهای فسفرن سیاه
اکبر شعبانی - حسین کرمی طاهری
بررسی عددی انتقال حرارت و جریان سیال در مبدل حرارتی مبتنی بر ریز کانالهای سامانه میکرو الکترومکانیکی
رسول عدلی بیله سوار - فرهاد صادق مغانلو - محمد وجدی حکم آباد
Temperature Sensor Based on a Plasmonic MIM Waveguide with a Grill-Shaped Cavity
Mahsa Ahadi - Mohammad Ghanavati - Hamid Vahed - Mohammad Azim Karami
Design and Simulation of a 2.4 GHz Class E Power Amplifier With High PAE and Linearity Improvement in 0.13μm CMOS Technology
Hamidreza Taghavi gharaghaji - Morteza Mojarad
طراحی سیستماتیک موجبر فوتونی مبتنی بر سیلیکون نیترید در محدوده نور مرئی
افشین احمدپور - امیر حبیب زاده شریف - فائزه بهرامی چناقلو
Electro-Thermal Analysis of VCSELs with Multi- Mesa Structures Using 3D Self-Consistent Simulations
Hassan Hooshdar Rostami - Vahid Ahmadi - Saeed Pahlavan
A Linearity Enhanced Open-Loop Residue Amplifier for Pipeline ADCs
Tohid Kheyrandish - Kaveh Azizi - Sarang Kazeminia
یک مبدل آنالوگ به دیجیتال مبتنی بر مدولاتور سیگما دلتا برای کاربردهای مهندسی - پزشکی با ENOB = 13. 2 bits ، پهنای باند 10 kHz و توان مصرفی 16.9 µ W
علی صداقت - حسین پاک نیت - نوید یثربی
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 43.9.1