0% Complete
صفحه اصلی
/
پنجمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران
A MEMS Resonant Pressure Sensore Based on 2D Graphene Material
نویسندگان :
Amir Noroolahi
1
Farshad Babazadeh
2
1- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی(ره) شهرری
2- دانشگاه آزاد اسلامی واحد یادگار امام خمینی (ره) شهر ری
کلمات کلیدی :
2D material،Resonant Frequency،Pressure Sensor،Nanoelectromechanical systems(NEMS)،MEMS
چکیده :
In this manuscript, we offer a comprehensive investigation of the operational principle, performance assessment, and prospects of resonant pressure sensors that rely on 2D material membrane. Specifically, the membrane in question is a Graphene-based one, possessing a radius of 2500 nm and a thickness of 25 nm. Our simulation setup consists of a multi-layer Graphene membrane that suspended on a Si substrate and stimulated by an electrostatic excitation. When acting as a resonator, the membrane displays a frequency shift of roughly 57 MHz in response to pressures ranging from zero to 1 bar applied pressure. Our sensor exhibits a sensitivity of 56 kHz/mbar, which is 200 times higher than that of pressure sensors based on Silicon, despite employing a membrane area that is 1200 times smaller. Our proposed pressure sensor exploits the mechanical and electrical properties of Graphene to enable exceptionally accurate pressure measurements.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
ساخت حسگر پیزومقاومتی مبتنی بر گرافن ناشی از لیزر بر روی فیلم پلی ایمیدی
علیرضا اکبرزاده - کریم شلش نژاد - هادی ولادی - ابراهیم صفری
Hybrid ECG Signal Denoising Using Wavelet Transform and Adaptive Notch Filtering
Hossein Kodoori - Mehrnaz Monajati
طراحی و شبیهسازی یک فیلتر میان گذر باریک باند قابل تنظیم با استفاده از سلف فعال برای کاربرد در شبکههای بیسیم
محمد امین ملاکی - مهناز افضلی - ابوالفضل بیجاری
Design of a 0.3-V, 100-Hz, Pseudo-Differential Fourth- Order LPF for ECG Applications
Sajad Sohrabian - Yasin Heydarzadeh - Ziaedin Daie Kouzeh konani
A 7.5 GHz, 60 dB Regulated Cascode Transimpedance Amplifier in 180-nm CMOS Technology for Optoelectronic Applications
Sara Ghorbani - Saeed Olyaee - Mohammad Hossein Maghami
A 5.5 GHz LNA for Wi-Fi7 Application in IEEE 802.11be Standard
Elaheh Pakravan - SIROUS TOOFAN - Jafar Sobhi - Reza Daie Kouzehkanani
Base Transit Time Investigation of InP/InGaAs HBT Optoelectronic Mixer Using Different Base Doping Profiles
Hassan Kaatuzian - Mehrdad Ghasemi - Mahdi NoroozOliaei
طراحی نوسانگر ولتاژ پایین با کمترین نویزفاز گزارش شده در ناحیه 1/f^3 در فرکانس 3.6 گیگاهرتز
ریحانه عسکرزاده طرقبه - فاطمه اکبر - علی فتوت احمدی
Electro-Thermal Analysis of VCSELs with Multi- Mesa Structures Using 3D Self-Consistent Simulations
Hassan Hooshdar Rostami - Vahid Ahmadi - Saeed Pahlavan
طراحی سیستماتیک موجبر فوتونی مبتنی بر سیلیکون نیترید در محدوده نور مرئی
افشین احمدپور - امیر حبیب زاده شریف - فائزه بهرامی چناقلو
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 43.9.1
