لطفا منتظر بمانید ...
0% Complete
صفحه اصلی
/
ششمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران
Influence of piezoelectric actuator on the stability of micromechanical device via Casimir force
نویسندگان :
Fatemeh Mahdi Maleki
1
Fatemeh Tajik
2
1- دانشگاه الزهرا(س)
2- دانشگاه الزهرا(س)
کلمات کلیدی :
Casimir force،MEMS،Piezoelectric،Stiction
چکیده :
Here, we investigate dynamical actuation of a microswitch under the influence of the Casimir force via a piezoelectric actuator. In fact, we have considered the effect of optical properties on the stable operation of the microswitch for both good (e.g. metals) and poor conductors via a piezoelectric actuator. Indeed, gold (Au) has been chosen as a good conductor which is widely used for Casimir force measurements, and highly doped conductive silicon carbide (SiC) has been considered as a poor conductor which is a promising material for device operating under harsh environments. It is also supposed that the microswitches are frictionless and autonomous. Using bifurcation and the phase portraits of the actuation dynamics, it has been analyzed to compare the sensitivity of device operating between materials with conductivities. Moreover, pull-in diagrams have shown that there is significant dependence of the performance of the microswitches on the in-plane extension in the piezoelectric actuator, due to applied voltage. The latter can preserve stability or lead to instability and stiction in both microswitches made from Au and SiC.
لیست مقالات
لیست مقالات بایگانی شده
Third Harmonic Generation Improvement with BIC based Perovskite Metasurface
Fateme Momeni - Vahid Ahmadi
Optimizing High Dynamic Range Current Measurement Circuit for IoT Applications
Yas Hosseini Tehrani - ُSeyed Mojtaba Atarodi
A Low-Power Fully Differential LC Oscillator with Phase Noise Reduction for LTE Applications
Yeganeh Moradzadeh Rezaei - SIROUS TOOFAN - Jafar Sobhi
A 12-bit, 100-MS/s Two-Channel Time-Interleaved SAR ADC with a Novel Offset Error Cancellation Method
Seyed Kian Mousavikia - Majid Vatan Parast Aghdami - Morteza Mousazadeh - Khayrollah Hadidi
طراحی و شبیه سازی سوییچ و مدولاتور الکترواپتیک مبتنی بر گرافن در طیف مادون قرمز میا نی با بهره گیری از ساختار JFET
توفیق نورمحمدی
طراحی نانو لیزرکریستال فوتونی نقاط کوانتومی با محیط بهره هیبریدی مبنی بر گالیم آرسنیک با افزایش پمپاژ نوری
انیس امیدنیایی - علی فرمانی
An Integrated Wearable Bio-Impedance Spectroscopy System for Remote Monitoring Heart Failure in 65nm CMOS Technology
Arman Ghouchani - Mohammad Sharifkhani
یک مبدل آنالوگ به دیجیتال مبتنی بر مدولاتور سیگما دلتا برای کاربردهای مهندسی - پزشکی با ENOB = 13. 2 bits ، پهنای باند 10 kHz و توان مصرفی 16.9 µ W
علی صداقت - حسین پاک نیت - نوید یثربی
طراحی شمارنده بالا پایین شمار سنکرون 8 بیتی بسیار سریع مبتنی بر شمارش در دولبه پالس ساعت با استفاده از ترانزیستورهای نانو لوله کربنی32 نانومتر
جواد جاویدان
Design of a Synchronous and Asynchronous Up/Down Quaternary Counter Using 32nm-CNTFET Technology
Javad Javidan
بیشتر
ثمین همایش، سامانه مدیریت همایش ها و جشنواره ها - نگارش 44.12.4
