کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

صفحه اصلی / پنجمین کنفرانس بین المللی میکروالکترونیک ایران

ZnO-Based Surface Acoustic Wave Droplet Sensor

نویسندگان :

Farzaneh Soleimanpour (دانشگاه تربیت مدرس) , Behdad Barahimi (دانشگاه تربیت مدرس) , Sara Darbari (دانشگاه تربیت مدرس) , Mohammad kazem Moravvej farshi (دانشگاه تربیت مدرس)

کلمات کلیدی :

Surface Acoustic Wave (SAW)،sensor،piezoelectric،SAW Device،Zinc Oxide (ZnO)

چکیده :

In this work we designed and fabricated a ZnO based SAW sensor with focused aluminum IDTs for DI wate droplet sensing. We employed ZnO/SiO2/Si as the piezoelectric substrate in this study. A minimum measurable DI water droplet of 6 mgr was obtained in the presented SAW sensor.

لیست مقالات

ثمین همایش، سامانه مدیریت کنفرانس ها و جشنواره ها - نگارش 35.5.1